分布の評価

SiC多結晶の熱浸透率の分布
（産総研先進製造プロセス研究部門）

SiC多結晶（セラミックス）の熱浸透率の分布を測定し、焼結体のマイクロメートルオーダーの熱浸透率の分布を可視化しました。そのほかにも、ワイドバンドギャップ材料のGaNや、ダイヤモンドも測定することが可能です。

各種材料の熱物性（熱伝導率・熱浸透率）の分布測定がマイクロメートルオーダーの分解能で可能になりました。材料内の熱物性（熱伝導率・熱浸透率）の分布を評価することで、高熱伝導性材料の特性の大幅な向上が期待できます。

産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門先進焼結技術研究グループ

AlNの圧痕部分の熱浸透率が低くなっているのが確認できます。

金属ガラスの均一性を、熱浸透率の分布測定により確認することができます。